看圖讀懂半導體製造裝置

清華大學動力機械工程學系教授 羅丞曜 審訂

得半導體得天下？

要想站上世界的頂端，就一定要了解什麼是半導體！

半導體可謂現在電子產業的大腦，從電腦、手機、汽車到資料中心伺服器，其中具備的智慧型功能全都要靠半導體才得以完成，範圍廣布通信、醫療保健、運輸、教育等，因此半導體可說是資訊化社會不可或缺的核心要素！

半導體被稱為是「產業的米糧、原油」，可見其地位之重要

臺灣半導體產業掌握了全球的科技，不僅薪資傲人，產業搶才甚至擴及到了高中職！

但，到底什麼是半導體？半導體又是如何製造而成的呢？

本書詳盡解說了製造半導體的主要裝置，並介紹半導體所有製程及其與使用裝置的關係，從實踐觀點專業分析半導體製造的整體架構，輔以圖解進行細部解析，幫助讀者建立系統化知識，深入了解裝置的構造、動作原理及性能。