半導體製程概論（第五版）

{{ _getLangText('m_detailInformation_goodsAuthorText') }}李克駿,李克慧,李明逵
{{ _getLangText('m_detailInformation_goodsPublisherText') }}全華圖書
2023年06月09日
ISBN：9786263284579
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全書分為五篇，第一篇(1～3章)探討半導體材料之基本特性，從矽半導體晶體結構開始，到半導體物理之物理概念與能帶做完整的解說。第二篇(4～9章)說明積體電路使用的基礎元件與先進奈米元件。第三篇(10～24章)說明積體電路的製程。第四篇(25～26章)說明積體電路的故障與檢測。第五篇(27～28章)說明積體電路製程潔淨控制與安全。

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半導體元件物理與製作技術（第三版）
施敏,李明逵